目录手把手教你学Simulink——直线音圈电机在光刻机工件台中的纳米级定位控制仿真一、为什么光刻机工件台要用直线音圈电机二、系统建模架构三、直线音圈电机建模Simscape Electrical 实现关键非线性因素建模四、机械结构建模（Simscape Multibody）4.1 气浮导轨4.2 柔性铰链4.3 工件台6自由度动力学4.4 结构谐振五、传感器建模5.1 激光干涉仪5.2 阿贝误差5.3 电容传感器（Z向）六、控制算法设计6.1 经典PID+前馈6.2 陷波滤波器（Notch Filter）6.3 干扰观测器（DOB）6.4 宏微协同控制七、Simulink实现步骤Step 1：建立音圈电机电气模型Step 2：建立机械结构模型Step 3：加入谐振模态Step 4：设计控制器Step 5：传感器噪声注入Step 6：宏微协同八、推荐仿真参数九、典型仿真场景十、从Simulink到实物的落地十一、工程避坑十二、总结手把手教你学Simulink——直线音圈电机在光刻机工件台中的纳米级定位控制仿真前面几篇我们聊了FOC电流环、PIL验证、BLDC静音控制、步进电机FPGA脉冲和绝对式编码器协议。这一篇切入精密运动控制里最"硬核"的场景：光刻机工件台的纳米