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Keithley 2400源表+LabVIEW自动扫I-V曲线:通信设置、SCPI命令与踩坑实录

Keithley 2400源表+LabVIEW自动扫I-V曲线:通信设置、SCPI命令与踩坑实录 做半导体器件、传感器或者材料电学特性测试的朋友对Keithley 2400源表和I-V曲线应该都不陌生。我最早用2400的时候还是纯手动前面板旋转旋钮调电压盯着表头读电流测一个二极管从-5V到5V逐点扫光记录数据就花了十几分钟手写笔记本上全是数字回来还要敲进Excel重新画曲线。后来改用LabVIEW写了一个上位机采集程序同样一段扫描十几秒出图数据直接进文件还能批量测十几个样品跑一个晚上不用管。这篇东西就是把这些年用2400源表配合LabVIEW扫I-V曲线的完整套路整理出来——从通信设置、SCPI命令、程序结构到各种高频踩坑给你一条能直接照抄的路径。不管你是刚接手实验室测试台的入门工程师还是早就想把手动扫描改成自动化的资深研发这篇都适用。1. 为什么非得用程序扫 I-V 曲线先聊点实际的手动扫I-V到底哪里难受我总结下来有三条。第一效率太低。Keithley 2400的前面板操作其实不慢旋钮调节电压也顺手但问题在于每个测量点都需要你“先调压、再等稳定、再读数、再记录”一个点至少十秒钟。普通二极管扫几十个点还算能忍但你要是测光伏电池、忆阻器阵列或者温漂特性一个样品几百上千个点手动扫完人基本就废了而且每个点的等待时间完全靠感觉数据质量参差不齐。第二记录和整理太容易出错。手写数据这件事听着复古实际做起来比你想的更折腾漏记一位、小数点看错、回来输Excel输错行这些破事我全干过。数据一多人工核对的成本比测试本身还高。第三有些场景根本无法手动完成。比如要求每个测量点精确等待200ms再读数或者要快速反向扫描看出回滞特性人手完全没有办法保证一致性。还有批量测试几十个样品逐个测每换一次样品都要重新设置一遍参数手动模式基本是一场噩梦。自动化扫I-V解决的就是这三件事速度快、可重复、能批量。程序设置好同样一个延时和同样的步进策略每个点都一样扫完自动出图、自动存数据更换样品只需复位键一按程序从头开始跑。我把这套东西做出来之后原本一个下午才能测完的一批样品现在开机、夹好样品、跑脚本咖啡没喝完就出结果了而且数据格式统一后续分析直接套模板。那为什么选LabVIEW而不选Python或者C#说实话Python也很好尤其是配合pyvisa库相当顺手。但LabVIEW在仪器控制这个场景里还是有几个实打实的优势一是图形化编程天然适合测试流程你不需要跟编译器和指针纠缠拖几个VISA节点就能说话二是NI的VISA抽象层把GPIB、USB、串口统一成了一个接口换电脑换接口不用改代码逻辑三是前面板自带的XY图、波形图控件足够应付大部分绘图需求测完直接把曲线画出来不需要额外接matplotlib或者处理Qt绘图。如果实验室里本来就有LabVIEW环境用它来做2400源表的I-V扫描是性价比最高的方案。还有一点LabVIEW做仪器控制的时候调试路径非常直观你在框图上放一个VISA写入输入命令字符串在前面板就能看到写进去的到底是什么还能加探针看返回数据。这种“所见即所得”的调试验证体验在排查仪器通信问题时能省掉大量时间。2. 2400 源表的控制基础通信链路与远程命令2.1 先解决“电脑怎么找到这台仪器”写程序之前第一件事是把2400和电脑连上让LabVIEW能“看见”它。2400源表的通信方式主要有三种GPIB、USB虚拟串口、RS-232。通信方式特点适用场景GPIB最经典稳定可靠需要GPIB控制器常见USB转GPIB实验室标配、多台仪器级联USB虚拟串口后端是COM口笔记本就能用驱动装好后即插即用单台设备、办公环境最常用RS-232老接口速度一般胜在兼容老设备万不得已时的备用方案我个人最推荐USB方式。2400只要插上USB线装好驱动后会枚举成一个虚拟串口你在设备管理器里看到一个COM号LabVIEW直接通过VISA访问这个串口就行。不需要买GPIB转接卡笔记本也能带着走。GPIB当然更稳定适合多台仪表协同或者电磁环境复杂的产线但对单台源表的实验台来说USB完全够用。软件层面必须先装NI-VISA。这是LabVIEW和仪器通信的地基。装好之后打开NI的Measurement Automation ExplorerMAX在“设备和接口”里应该能看到你的2400如果显示正常说明驱动和通信链路没问题。这一步很多人会跳过结果LabVIEW里怎么都找不到设备其实问题不在LabVIEW而在驱动层。装完NI-VISA再装LabVIEW。版本上LabVIEW 2015、2018、2020这几个版本我都用过做仪器控制没有本质区别。但安装过程有几个坑得提醒路径不要有中文安装时关掉杀毒软件最好以管理员权限运行。我见过太多LabVIEW装到一半报错的情况十有八九是安装包被拦截或者路径带中文符号。2.2 2400 远程控制的核心SCPI 命令连接搞定后双方“对话”靠的是SCPI命令。你可以把SCPI理解成仪器的“母语”一串字符串发过去仪器就执行对应动作。这和LabVIEW图形化编程的思维差异很大但2400的命令集非常成熟稳定学会十几条常用命令就足够应付I-V扫描了。最基本的验证是发*IDN?仪器会返回型号、序列号、固件版本。我每连上一台设备都会先发这条命令确认通信是通的再往下配置。如果这条命令都没反应后面写再多都是白搭。下面这段话是我配置2400做电压源测电流时的标准命令流你可以先手动在NI-MAX的VISA测试面板里敲一遍感受一下每条命令的作用*RST :SOUR:FUNC:MODE VOLT :SOUR:VOLT:MODE FIX :SOUR:VOLT:LEV 0 :SENS:FUNC:ON CURR :SENS:CURR:PROT 0.01 :SENS:CURR:NPLC 1 :FORM:ELEM CURR :OUTP ON :READ?逐条解释一下第一条*RST复位仪器把所有设置拉回默认值避免上一次实验的残留参数干扰然后指定源输出电压、工作在固定电压模式、电压电平设到0V接下来配置测量功能为电流、设置限流保护为10mA、积分时间设为1个NPLCFORM:ELEM CURR控制测量返回的格式这里让它只返回电流数值最后OUTP ON打开源输出READ?触发一次测量并返回结果。有一点要特别注意2400一旦进入远程控制模式前面板很多按键会暂时失效屏幕上会出现“REMOTE”状态指示。你想切回本地操作需要按一下前面板的LOCAL按键。程序里没用到的地方别硬在前面板操作不然大概率没反应。2.3 自己发命令还是用官方驱动 VI做2400和LabVIEW联调时有个经典选择直接用官方提供的Keithley 2400驱动VI还是自己用VISA写SCPI命令官方驱动VI的好处是已经把常用功能封装好了拖出来填参数就能跑适合快速上手。但我做了几年仪器控制之后越来越倾向自己用VISA写命令。原因很简单驱动VI是个黑盒子出了问题你很难定位是仪器没执行还是参数没传对还是返回解析有bug。而SCPI命令是透明的你能看到每一次交互的内容排查问题一条一条过心里有数。而且2400这种经典源表命令集二十多年没大变网上所有教程、老工程师的经验全都围绕SCPI命令展开。掌握了这套命令将来换用2600系列、2450甚至其他品牌的源表理解成本都低很多。所以下面的程序示例我会采用“VISA写入SCPI命令”的方式来写。3. 扫之前必须搞懂的 5 个参数直接影响曲线质量写代码之前有几个参数必须在脑子里过一遍。很多I-V曲线扫出来稀烂——噪声大、拐点飘、甚至把器件扫废了归根结底都是这几个参数没设置对。3.1 源模式和测量模式2400是源表SourceMeter最大特点就是既能输出电压测量电流也能输出电流测量电压。I-V扫描最常用的是“电压源电流测量”。二极管的正向特性、电阻器的线性度、太阳能电池的开路电压短路电流都是在这种模式下测的。但也有反向用法。比如测某些传感器的阻抗-电流特性或者测量电压源型器件的输出特性就可能需要“电流源电压测量”。不管哪种你在命令里要明确指定两件事源是什么测量是什么。默认状态未必是你想要的千万不要吃老本。3.2 限流值Compliance保护器件的第一道防线这是扫I-V曲线最容易被忽视、但最要命的参数。限流值的意思是源表输出的电流达到这个值就不再往上顶电压会被迫降下来。它的作用就是保护你的被测器件防止过流烧掉。举个实际例子你给一个二极管设了5V扫描但忘记设限流默认可能到1A甚至更高。二极管的导通电阻很小5V直接压上去电流瞬间飙升器件当场报废。尤其测忆阻器、超容这种瞬态电流大的东西限流设不好分分钟出事。那限流设多少合适经验法则是设为预估最大电流的1.2到2倍。测小信号二极管设1mA到10mA就很稳测大功率器件再放宽到安培级。如果你对器件完全不熟先用最低量程和最小限流跑一遍粗扫观察电流水平再往上调。记住一句话限流设小了曲线会顶到一个平台但器件安全限流设大了器件可能直接烧穿。宁小勿大。3.3 延时Delay与 NPLC测量稳定性的来源延时指的是每次改变源电压之后、读取测量值之前等待的那段时间。为什么需要延时因为真实器件有电容、有介质弛豫、有温度响应电压刚加上去的瞬间电流往往会有一个瞬态尖峰还没稳定你就读数测出来的值肯定是乱的。NPLC是另一个和“稳定”相关的参数全称Number of Power Line Cycles意思是积分时间等于多少个电网周期。在中国50Hz工频下1个NPLC是20ms。NPLC越大积分时间越长抑制噪声的效果越好但测量越慢。NPLC10就是200ms一个点高阻测量或者测pA级漏电流时基本是标配。这两个参数叠加决定了一个点的总耗时。延时100ms加NPLC2的40ms一个点接近150ms扫1000个点就是150秒。你需要在速度和稳定之间找平衡后面的章节我会具体讲怎么安排。3.4 量程自动量程好用但也会有坑2400的电流测量量程从纳安级到安培级跨度极大。默认开自动量程仪器会根据实际信号大小切换量程。听起来很方便但对扫曲线来说有个坑量程切换时读数会有一个短暂的波动尤其是在曲线陡峭变化的区间自动量程的切换毛刺会直接画到图里特别丑。我的做法是先开自动量程快速扫一遍观察电流的范围然后根据这个范围把量程固定在某个档位再正式扫描。固定量程虽然动态范围小一点但在整个扫描区间内测量条件是一致的曲线更干净、更可信。3.5 四线 vs 二线引线电阻怎么消除测小电阻或者需要高精度的器件时必须用四线开尔文接法。原理很简单二线接法里电流流过引线电阻会产生压降源表测到的电压包含了这段压降计算出来的电阻就偏大。四线接法把“送出电流的线”和“测量电压的线”分开测量回路里没有电流流过引线电阻的影响就被排除了。2400开启四线模式需要在前面板菜单里设置Remote Sense也可以用命令:SYST:RSEN ON。这里有个细节我必须强调开了四线必须把Sense线接好否则读数会直接出错或者显示无穷大。我栽过一次程序跑出来的曲线全是乱码查了半天发现是Sense线松了。这几个参数用一张表归纳一下方便你回头对照参数推荐做法常见错误限流值预估电流的1.2-2倍忘记设置默认限流过大延时100ms起步根据器件稳定时间调整不设延时读数采到瞬态值NPLC低电流高精度设5-10快速扫描设0.1-1一味求快导致噪声爆表量程先自动扫一轮再固定量程正式扫全程自动量程曲线有切换毛刺四线小电阻高精度测试必须开开了四线但Sense没接好4. 完整程序怎么写从初始化到曲线绘制4.1 程序整体架构一个状态机最省心LabVIEW写仪器控制程序最怕一坨代码堆在同一个循环里后面改参数、加批量逻辑的时候无从下手。我的习惯是做一个简单的状态机初始化、配置、扫描循环、收尾四个状态每个状态一个Case外面套一个While循环。这样每个环节独立可查出了问题单独修一块就行。当然如果只是临时跑一段扫描不追求代码复用那直接在平铺的框图上按顺序拖也行。但只要你打算以后重复使用建议还是花点时间搭状态机。4.2 初始化与复位程序第一步是VISA Open也就是建立和2400的会话。这里需要指定VISA资源名称就是你之前在MAX里面看到的那个字符串类似ASRL3::INSTR或者GPIB0::24::INSTR。建议把资源名称做成前面板常量方便以后换设备或者改接口。打开会话之后先发*IDN?并读回设备信息确认通信正常。这一步我用它做程序的自检读不到就直接报错退出绝不继续往下跑。因为你如果连不上仪器后面所有的配置命令都会在VISA写入节点上堆积或者报超时报错信息还不好定位。4.3 配置测量与扫描参数接下来把“测量什么、怎么测”的配置命令一次性发完。包括源模式、测量功能、限流值、NPLC、量程、四线开关这些。这些配置可以在扫描循环外只做一次没必要每个点都重复发。我习惯把扫描参数也算好扫描起点、扫描终点、步进值、每个点延时这四个参数做成前面板输入。扫描点数用它做程序里的工作项扫描点数 (终点 - 起点) / 步进 1这个公式看着简单但数据类型容易栽跟头。LabVIEW里默认数值是双精度浮点如果起始、终点、步进都是整数除法可能产生小数误差导致点数算错。我的做法是先全部转成浮点数再运算最后用Round to Nearest转成整数别用整数类型硬算。4.4 扫描循环发命令、读数据、画点这是整个程序的核心也是最容易写出奇怪bug的地方。在框图上是一个For Loop循环次数等于上面算出来的扫描点数。循环内依次做四件事第一步拼命令。用“格式化写入字符串”Format Into String函数把当前循环索引换算出的电压值拼成一句SCPI命令格式是:SOUR:VOLT:LEV 0.1234这里有一个我没少犯的错电压值必须用浮点格式化成字符串而且要控制有效位数。默认的浮点转换可能输出1e-3这种科学计数法部分固件版本对格式挑剔可能解析出错。我通常把有效位数限制到6位转换成定点格式比如0.001000这样的字符串兼容性最好。第二步写命令。通过VISA Write节点把命令发给源表。VISA Write是异步的它只负责把数据放进缓冲区不代表仪器已经执行完。所以接下来必须读。第三步读数据。发一条:READ?命令2400会完成一次触发测量并把结果返回。返回值是一个字符串例如1.230000E-03。在LabVIEW中用“扫描字符串”Scan From String函数把这个文本解析成浮点数。这里如果解析失败先看看是不是返回了错误状态字符串。有些固件在出错时会返回类似ERR开头的文本解析函数会直接报错。第四步画点。把当前电压和测到的电流打包成一个XY数据点送入循环外的XY图控件。LabVIEW的XY图接受数组输入所以循环里的数据要累积起来循环结束后一次性画出来。这里注意一点不要在循环里直接操作图表控件数据刷新太频繁会把UI拖死。正确做法是循环收集数组结束后统一更新XY图。循环的伪逻辑大概是这样for i in 0..N-1: volt 起点 i * 步进 发送 :SOUR:VOLT:LEV 格式化(volt) 发送 :READ? 响应 读取 电流 解析(响应) 记录 (volt, 电流) 等待 延时 end4.5 收尾关输出、关会话、保存数据扫描循环结束后一定要做三件事关输出、存数据、关会话。关输出是发:OUTP OFF命令把源表输出断开。这是保器件、保设备的关键一步。如果程序异常退出导致输出一直ON着器件可能长时间带电轻则数据漂移重则烧坏。所以即使程序在中间出错错误处理分支里也要尽量执行到OUTP OFF。数据保存我推荐用“制表符分隔的文本文件”或者TDMS格式。文本文件的好处是Excel直接打开方便快速查看TDMS的好处是写入快、占用小、还附带NI的通道属性。如果是批量测试、数据量大用TDMS更稳。文件名一定要带时间戳防止覆盖比如IV_20240521_1430.txt这种。最后关闭VISA会话释放端口资源程序才算完整收尾。4.6 一个完整的命令序列参考下面是我在正式程序里实际使用的命令序列你按这个顺序逐条发送就行*RST :SOUR:FUNC:MODE VOLT :SOUR:VOLT:MODE FIX :SENS:FUNC:ON CURR :SENS:CURR:PROT 0.01 :SENS:CURR:NPLC 1 :FORM:ELEM CURR :TRAC:POIN 1000 // 循环内 :SOUR:VOLT:LEV 0.000000 :READ? 1.230000E-03 :SOUR:VOLT:LEV 0.100000 :READ? 1.400000E-03 ... // 循环后 :OUTP OFF注意最后一条:OUTP OFF我每次写程序都会加上并且放在错误处理分支里也有一份。这个习惯看起来简单实际能避免大多数“跑完程序发现器件发热”的尴尬。5. 把曲线扫“准”而不是扫“完”速度与质量的平衡程序跑通了扫描速度也很快但你先别急着上量。I-V扫描这件事“扫完”和“扫准”完全是两码事。我总结了几条关于曲线质量的实战经验。5.1 先粗扫再精扫我每次拿到一个没测过的器件第一轮永远是快速粗扫大步进、短延时、低NPLC、自动量程先把整个范围扫一遍目的是搞清楚这个器件的电压极限、电流范围、有没有异常的拐点或击穿现象。粗扫之后你心里有底了再设计正式的精细扫描缩小步进、加大延时、固定量程、适量提高NPLC。这套做法尤其适合那些从来没见过的样品。上来就精细扫描速度慢不说万一参数范围设置不合理器件可能直接被打坏。先粗后细既安全又高效。5.2 判断曲线是否踩到 compliance扫完之后第一件事不是看曲线漂不漂亮而是看有没有踩到限流值。如果电流曲线出现一条笔直的水平平台而平台对应的电流值正好等于你设置的限流值那就说明器件在这一点已经被“限流保护”了后面测到的数据不代表真实特性曲线上会出现一个“假饱和”。这种情况怎么办如果平台是你主动设限流造成的就适当调高限流值重新扫如果是因为器件本身已经进入限制状态那说明测试范围超出了安全边界不要硬往高电压推。测二极管的时候尤其常见正向导通后电流直冲限流平台很多人还以为是器件特性其实只是保护在起作用。5.3 批量测试怎么组织批量测几十个样品时程序的逻辑要稍微改一下。把“测完一个样品”做成一个独立函数或者子VI外层再套一层循环每次换样品。每个样品的文件单独保存文件名带样品编号。这里有个经验每个样品开始之前先发一次OUTP OFF再发*RST复位仪器。原因很实际上一个样品如果测完没关输出直接换下一个夹持瞬间可能产生火花放电器件和探针都容易被烧伤。复位一下所有参数回到已知状态下一个样品从干净的环境开始测。5.4 数据质量还看“重复性”同样的样品连续扫两次曲线不可能完全重合。电容性、热效应、甚至环境湿度都会造成偏差。所以在发正式报告或者做判断之前至少让同一个样品在相同条件下重复扫三遍看曲线是否稳定。如果三条曲线几乎重合说明测量系统稳定数据可以用。如果偏差明显别急着改软件先检查接触电阻、线缆屏蔽和地环路问题。我遇到过很多“程序没问题但数据乱跳”的情况最后都是探针接触不良或者屏蔽没做好导致的。仪器控制程序只能保证“按流程测”保证不了“测出来的值可信”后者还得靠你的测试系统本身。6. 实测踩过的坑与解决路径最后这部分聊几个这些年实打实踩过的坑。每一个我都花了额外时间才排查出来写出来帮你省掉这些弯路。6.1 坑1读数卡住不动VISA超时报错第一次跑扫描程序跑到某一点就停住然后弹出VISA超时错误。这个坑的根源几乎永远是延时加NPLC的时间超过了VISA的超时设置。比如你设置了延时500ms、NPLC10一个测量点要700多毫秒才出结果。而VISA读取节点的超时时间默认是2000ms看起来够用但如果你用了仪器内置的自动扫描模式或者加入了额外触发延迟整体时间很容易超读取就报错。排查链路先把超时值改成5000ms或10000ms再跑一遍。如果不再报错说明就是时间预算问题。同时看一下前面板确认仪器状态是不是还在测量中。还有一个隐藏原因仪器前面板开了某个菜单或者弹出了错误提示导致远程命令得不到响应。这种情况关掉前面板菜单或者按一下LOCAL键就能解决。6.2 坑2返回数据解析成乱码或0:READ?返回的字符串格式没搞懂解析出的浮点数全是0或者直接报字符串转数字错误。2400的返回格式由:FORM:ELEM控制默认可能包含多个元素用逗号分隔比如1.230000E-03,5.000000E00。如果你的解析函数只取第一个数字后面的又没处理好就很容易出错。我的做法是程序开头固定设置:FORM:ELEM CURR让返回值只包含电流一个数。简单粗暴从源头消灭格式不确定性。如果你确实需要同时返回电流和电压那就在解析时先用“匹配模式”按逗号拆分再分别转浮点数。还有一个非常容易忽略的点2400在测量开路或者超量程时可能返回一个表示溢出的大数比如9.9E37。这个值看起来像有效数据但实际是“无效”标记。程序里最好加上判断绝对值超过1E30就标记为数据异常不要画进曲线。6.3 坑3小电阻器件低压段曲线明显偏大这是二线法典型的翻车现场。测一个阻值只有几欧姆的电阻低压段测出来的电阻值明显偏大电压越高越接近真实值。原因我刚才说过万用表源表测到的电压包含了引线电阻的压降低压段电流小偏置效应占比更高误差更明显。排查链路先用万用表量一下夹持探针到样品端的总引线电阻如果已经到几十毫欧甚至几百毫欧和小电阻同量级那就必须上四线。改成四线接法的同时别忘了在2400上开启Remote Sense光改接线不开启四线模式等于白改。6.4 坑4曲线转折处出现毛刺曲线主体很光滑但是在某一段突然有个别点偏离大像心电图上的早搏。这个八成是自动量程在捣鬼——电流刚好跨过量程切换阈值的一瞬间仪表内部在切换不同的增益电阻读数会跳一下。排查链路把电流量程固定重新扫一遍毛刺一般就消失了。如果还有把延时稍微加大再试。如果固定量程后毛刺依然存在就检查是不是线缆在长距离下成了“天线”吸收环境干扰。把样品台附近的高频设备关掉或者用双绞屏蔽线重新接线问题多半能解决。6.5 坑5程序异常退出后输出没关器件发热这是我踩得最深的坑之一。某次批量测试中LabVIEW因为内存问题崩了源表输出一直停在ON状态休息了十分钟再摸样品烫手。从此我在程序里加了两个机制一是VISA写入节点出现错误时错误处理分支第一件事就是发OUTP OFF二是程序结束无论正常退出还是异常崩溃都尽量走到关闭输出命令。这里给一个硬建议被测器件如果是热敏的、易烧的在治具上加一个物理断电开关程序控制之外还要有硬件兜底。软件保护只能覆盖它还能运行的时候程序崩了、电脑关机了、Windows强制更新重启了只有硬件开关才能真正拦住意外。6.6 一个通用排查链路专门对付通信故障不管什么情况凡是出现“仪器没反应、命令无效、读数异常”我都按这个顺序查看2400前面板的REMOTE状态有没有进入远程模式发一条*IDN?看返回是否正常确认最底层的通信链路通不通用NI-MAX的VISA测试面板手动发一条:READ?排除LabVIEW程序的问题检查VISA资源名称是不是选对了GPIB地址、COM口号有没有变化最后再怀疑程序逻辑在关键VISA节点上加载探针看实际发出的字符串和收到的字符串。这个排查链路帮我解决了90%的通信类问题。注意一个容易忽略的细节USB虚拟串口的COM口号在插拔后会变程序如果写死了COM号换一次接口就要改一次。我在前面板把VISA资源名称做成下拉列表每次运行前手动确认看着麻烦但能避开大量“为什么突然连不上”的灵异事件。结尾说实话2400源表和LabVIEW的搭配做I-V扫描技术门槛不算高真正决定效率和可靠性的都是这些绕不开的细节。我自己最深的体会是先把每个SCPI命令在NI-MAX里手动验证一遍再写进LabVIEW程序看起来多花了一点时间实际上省掉了后面排查通信问题的大量功夫。最后分享一个小技巧把“初始化仪器”“配置测量参数”“单点测量并读取”这几个功能分别做成独立的子VI接口只留必要的输入输出之后无论是单趟扫描还是批量测试都可以直接复用这套代码。这样你以后接任何新型号的源表改动量永远控制在配置区那一小块不用每次都从零开始画框图。
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