ARTICLE DETAIL

资讯详情

深耕网站建设与运营推广的一线实战洞察。

Silvaco Atlas入门指南:从PN结到MOSFET的TCAD仿真实战

Silvaco Atlas入门指南:从PN结到MOSFET的TCAD仿真实战 我第一次接触Silvaco Atlas的时候第一反应是这软件是不是装错了双击图标没有弹出任何图形界面打开官方文档示例文件全是密密麻麻的文本命令。那是七八年前周围没有人能告诉我该从哪里开始我只能对着manual一页一页啃。后来带过几届学生几乎每个人都要经历同样一段“怀疑人生”的过程。这篇入门指南就是想把这段弯路压缩掉。它面向完全零基础的读者——不管是正在上半导体物理课的学生、刚入职的器件工程师还是想了解一下半导体器件仿真到底怎么玩的转行者。我会带你从什么是TCAD、Atlas在其中的位置讲起接着搞定Linux环境然后一步一步写出一个能跑的PN结二极管和MOSFET最后聊一聊那些最常踩的坑。1. 先搞清楚一件事Silvaco Atlas到底在做什么1.1 TCAD是什么Atlas在其中扮演什么角色TCADTechnology Computer-Aided Design是一类专门用于半导体工艺和器件仿真的工具统称。和大部分工程师熟悉的电路仿真不同它不关心抽象的SPICE模型而是直接面对物理本身一个PN结、一段沟道、一层氧化层在给定的掺杂分布和偏置条件下器件内部载流子到底是怎么运动和复合的终端上会表现出什么样的电流-电压特性。Silvaco Atlas就是这个链条里的核心执行者。它接收你对器件结构、材料、网格、掺杂、物理模型和偏置条件的描述然后数值求解半导体基本方程——通常是泊松方程、电子和空穴的连续性方程以及电流密度方程。求解的结果会给你三类东西各节点的电势和能带、各节点的载流子浓度以及通过每个电极的电流。换句话说Atlas是一台“可以放进电脑里的半导体参数分析仪”只不过它测的不是成品芯片而是你还没做出来的虚拟器件。Atlas也算不上唯一的选择行业里另一大主流是Synopsys的Sentaurus系列。但Silvaco在很多高校和中小型设计团队里非常普及原因是上手门槛相对低、文档体系完整、单机许可就能跑而且和它的工艺仿真器ATHENA配合得很好。如果你是在读研究生或者刚进入器件设计岗位Silvaco Atlas很可能是你第一个需要学透的TCAD工具。1.2 为什么输入文件是一堆文本命令这是初学者最大的一个心理障碍。绝大多数人刚拿到Atlas第一反应是找菜单、找画布、找鼠标拖拽的入口——然后发现什么都没有。这个设计有历史渊源Silvaco最早的一批工具运行在UNIX工作站上图形界面在那个年代不是标配命令行和脚本才是最可靠的交互方式。但更重要的是文本输入方式在工程上有实实在在的优势。写一个器件结构的过程本质上是在写一份可复现的实验方案。文本文件可以放进版本管理工具里每次改动都有记录可以批量生成几十个不同参数的deck自动跑参数扫描可以写一个循环脚本让仿真在后台跑一整夜而不用人工干预。这些都是图形界面很难给到你的东西。所以要摆正心态Atlas的输入文件通常叫deck文件不是“因为老所以这样”而是“因为好用所以一直这样”。你真正要学会的不是操作软件而是用文本描述一个器件的物理过程。一旦接受了这个设定你会发现它比很多花哨的GUI工具高效得多。1.3 初学者的常见误区我见过太多人卡在同一批误区里先把这些雷排掉后面会顺很多。第一个误区是到处找图形界面。有些第三方工具和版本会带DeckBuild之类的交互入口但那只是帮你编辑和运行deck的辅助环境核心依然是文本。不要把精力花在找“可视化建模”上。第二个误区是一上来就想仿真FinFET、GAA这类三维先进结构。新手连PN结的耗尽区都没见过直接去碰三维量子修正模型除了收获一堆不收敛的报错不会有任何积累。我建议所有初学者都从一维/二维简单结构开始先建立“网格-掺杂-求解-看图”这条完整流程再去碰复杂器件。第三个误区是盲目堆物理模型。看到手册里有几十个模型名字想着全都打开“这样总该准了吧”。结果通常是计算量暴涨、收敛性变差而结果未必比最小模型集更好。物理模型的选择应该取决于你的器件结构和工作条件这个我在最后一部分会单独讲。2. 搭环境这关半数新手会卡在Linux上2.1 Atlas在什么环境跑为什么绕不开LinuxAtlas从内核上说是一个Linux原生程序虽然官方也提供Windows版本但我个人的实际体验是在Linux下运行的稳定性和性能都明显更好而且Silvaco的文档、示例、第三方脚本生态基本都以Linux为默认环境。如果你现在只有一台Windows电脑别慌我给三个方案按推荐排序VMware或VirtualBox装一个Ubuntu 20.04 LTS或22.04 LTS虚拟机。这是最稳妥的方案图形界面、网络、共享目录都方便算力要求也不高2核4G内存跑入门仿真绰绰有余。直接物理机装Ubuntu双系统。如果你确定未来一两年都要和TCAD打交道这个方案最省心内存和磁盘利用率最高。WSL2Windows Subsystem for Linux。能用但有个很麻烦的点Atlas自带的TonyPlot绘图工具需要X11图形转发WSL2默认没有图形环境还要额外装VcXsrv之类的X Server配置成本对新手不友好。不推荐作为第一条路。我自己的习惯是在笔记本上跑虚拟机服务器上跑Linux物理机。日常学习完全够用跑大结构再丢到远程机器上。2.2 安装与许可证配置的正确姿势Silvaco的安装包一般是一个压缩包解压后执行安装脚本按提示选择安装目录通常放在类似/opt/silvaco或者~/silvaco下面。然后就是License文件的配置。这一步在初学者当中翻车率极高。License文件需要放到软件指定的路径并且要通过环境变量告诉程序去哪里找它。不同版本的环境变量名略有差异常见的包括SILVACO_HOME、STAR_ROOT、LM_LICENSE_FILE具体以你拿到的安装文档或License邮件里的说明为准。配置好之后在~/.bashrc里加上类似这样的几行export SILVACO_HOME/opt/silvaco export LM_LICENSE_FILE/opt/silvaco/license.dat export PATH$PATH:$SILVACO_HOME/bin然后再执行source ~/.bashrc让配置生效。验证是否装好最简单的办法是在终端输入which atlas atlas -V如果能看到atlas的路径和版本信息说明主程序已经就绪。关于License我只说一句Silvaco是商业软件最稳妥的方式是使用学校、公司购买的正版授权或者通过官方渠道申请评估版/教学版。没有许可证就去想办法解决许可证而不是找什么奇怪的非正规手段——这不是道德说教而是因为仿真工具本身就需要持续的版本更新和技术支持绕开授权只会让你在踩坑时求助无门。2.3 建议的工作目录组织方式很多教程不讲这个但目录习惯真的会影响效率。Heres建议的目录结构~/silvaco/ ├── work/ │ ├── diode/ │ │ ├── diode.in │ │ ├── diode_iv.log │ │ └── diode_0v.str │ └── mosfet/ │ ├── mosfet.in │ └── ... ├── decks/ # 备份所有.in脚本 └── results/ # 汇总关键结果图表每个器件一个独立文件夹deck文件、log文件、str结构文件都放一起命名带版本号或日期。跑完一个仿真我会把当时的deck文件复制一份到decks/里标注“drain voltage sweep v1”这样三个月后想不起来当时怎么跑的翻一眼就有答案。这个习惯不值钱但能让你少走很多回头路。3. Atlas输入文件的核心骨架deck的语法逻辑3.1 一个最小的deck长什么样以最简单的PN结二极管为例我先把完整deck贴出来然后逐行拆解。# diode.in # 一个最简PN结二极管用二维网格描述一维结构 go atlas mesh # 横向网格x方向保持一定宽度 x.mesh location0.0 spacing0.1 x.mesh location1.0 spacing0.1 # 纵向网格结区附近加密 y.mesh location0.0 spacing0.02 y.mesh location0.5 spacing0.02 y.mesh location0.6 spacing0.05 y.mesh location1.0 spacing0.1 y.mesh location2.0 spacing0.2 y.mesh location5.0 spacing0.5 # 区域定义 region number1 materialSilicon # 电极定义 electrode nameanode top electrode namecathode bottom # 掺杂顶部P型底部N型 doping uniform concentration1e18 p.type y.max0.5 doping uniform concentration1e16 n.type y.min0.5 # 接触 contact nameanode aluminum contact namecathode aluminum # 物理模型 models srh auger conmob method newton autonr # 初始求解 solve init save outfdiode_0v.str # 反向扫描记录IV log outfdiode_iv.log solve vanode-0.1 solve vstep-0.2 vfinal-5.0 nameanode # 保存结果 save outfdiode_-5v.str tonyplot diode_0v.str diode_-5v.str tonyplot diode_iv.loggo atlas是启动Atlas引擎的命令写在最前面。mesh声明开始网格定义后面所有的x.mesh和y.mesh都是在为整个仿真区域画网格。每一条x.mesh location... spacing...的含义是在某个坐标处设置一条网格线网格线之间的间距由spacing指定。这个“先打点、后连线”的方式是Atlas网格系统的核心。region定义材料区域electrode定义金属电极的位置doping定义掺杂类型和浓度models和method指定物理模型和数值算法solve驱动求解过程。整份deck读下来其实就是在描述什么材料、长什么样、掺了什么、加了多少电压、用什么物理近似去算。3.2 网格是仿真的地基三个网格原则网格在Atlas里不是随便画的它直接决定仿真精度和收敛性。我总结三个原则够新手用很久。第一个原则重要区域加密。对PN结来说耗尽区和冶金结附近是物理变化最剧烈的地方网格必须细对MOSFET来说栅氧化层和沟道区域是核心那里的网格间距甚至要到纳米级。远离这些区域的地方比如衬底深处网格可以粗一些省计算量。第二个原则网格间距变化要连续。这是新手最容易忽略的地方。如果你从一个0.02微米的网格突然跳到0.5微米相邻网格的尺寸比过大数值求解器非常容易出问题轻则收敛慢重则直接发散。所以你会看到我的示例里网格间距是从0.02到0.05到0.1到0.2到0.5这样逐步放大的而不是跳变。这个习惯养成了能省掉大量排查时间。第三个原则先粗后细。我见过很多人一上来就把网格拉到极限细结果仿真跑了半小时还没出结果改一次参数又要重跑。正确的做法是先用粗网格把结构跑通确认逻辑没问题再整体加密网格做正式仿真。粗网格可能不准但它能帮你以最快速度发现语法错误和物理设置错误。3.3 一个参数一个坑掺杂、接触、模型选择掺杂的浓度单位是cm^-3这是个特别容易踩的坑。比如concentration1e18指的是每立方厘米1e18个掺杂原子不是剂量也不是面密度。如果你之前用过离子注入仿真器可能会习惯性把单位搞混导致仿真出来的器件阈值电压、击穿电压全都偏离预期。doping uniform可以通过y.max和y.min限定掺杂在纵向上的范围作用区域也可以进一步用x.min、x.max约束。比如上面PN结的例子第一条掺杂语句y.max0.5表示从结构顶部到0.5微米处都是P型掺杂第二条y.min0.5表示从0.5微米处到底部都是N型掺杂两道掺杂在0.5微米处自然形成冶金结。这个方法很直观也是我给学生示范“掺杂分区”时最常用的写法。electrode决定了你在哪里施加电压。最偷懒的写法是用top、bottom、left、right直接指定电极贴在某个边界上但这样做往往让电极覆盖了不想要的区域。严谨一点的做法是加上范围限定比如electrode namesource x.min0 y.min0.02 y.max0.05 electrode namedrain x.max1.0 y.min0.02 y.max0.05contact用来设置电极的物理属性比如金属功函数或者是否做欧姆接触。contact nameanode aluminum的意思是把阳极电极当作铝电极处理。做MOSFET时通常还要给栅电极指定多晶硅栅或金属栅的功函数用contact namegate n.poly这类写法。物理模型的选择我在后面专门展开这里先说一句新手最少模型集就是srh加conmob最多再加一个auger。这三个模型覆盖了复合、迁移率浓度依赖和高注入效应对绝大多数入门级仿真是够用的。3.4 求解流程从零偏到扫描solve init是第一个必须执行的求解命令它的作用是给整个结构计算零偏置下的平衡态解。这个初始解不仅是后续扫描的起点也是检验结构设置是否合理的第一道关卡——如果连零偏都不收敛那问题多半出在网格或者掺杂上而不是出在后面的模型上。做完初始解后如果想看正反向IV特性可以把电压一步步加上去。直接大步长加压很容易让求解器发散稳妥的做法是先加一个小偏压让它适应再用vstep配合vfinal做扫描solve vanode-0.1 solve vstep-0.2 vfinal-5.0 nameanode这段命令的意思是从-0.1V开始以-0.2V为步长一直扫到-5.0V。在扫描前别忘了一条log outfdiode_iv.log否则数据不会被记录下来。这是我见过最多人犯的错误跑了一堆solve结果忘了开log最后什么都没有只能从头再跑一遍。3.5 结果文件.log、.str、.tonyplotAtlas一生会产生两类核心文件。一类是.log文件记录的是电学数据比如各电极的电流、电压另一类是.strstructure文件记录的是网格点上的物理量分布——电势、电场、载流子浓度、能带等。.str文件在零偏时保存一份在某个工作点保存一份就能对比加电压前后器件内部发生了什么变化。打开这些文件用的工具叫TonyPlot。在终端直接输入tonyplot diode_iv.log就会弹出窗口显示IV曲线输入tonyplot diode_0v.str diode_-5v.str可以把两个结构放在同一个窗口里对比云图。TonyPlot的操作逻辑和Origin这类绘图软件类似可以选横纵轴、调曲线样式、导出数据。熟练之后建议直接看它生成的导出数据因为你在仿真后处理时总是需要原始数值的截图里面的坐标轴精度通常不够用。4. 从PN结到MOSFET手把手跑通两个仿真4.1 PN结二极管完整流程与结果解读把上面那份diode.in跑完你会得到一条反向IV曲线。由于示例里没有开启碰撞电离模型反向电流来自少数载流子的扩散和产生数值会非常小在-5V时依然维持在纳安甚至皮安级别。不要让这个“微小的反向电流”迷惑了你——这是正常的等你以后需要仿真雪崩击穿时再把impact selb模型加到models语句里反向电压持续增大后电流会突然陡升那才是击穿发生的时刻。正方向扫描稍微改一下电压步进就能看solve vanode0.1 solve vstep0.1 vfinal1.0 nameanode正向导通后电流随电压指数上升这条曲线可以直接用来提取二极管的理想因子和串联电阻也可以跟你自己在书本上学的理论值对照。比如硅PN结在室温下的内建电势大约在0.7V量级如果你仿真出来的开启电压和这个量级差得太远就要回去检查掺杂浓度和模型参数。我把这两个结构文件拿来对比时最值得看的物理量有三个耗尽区的展宽、结附近的电场峰值、以及载流子浓度分布。直接在TonyPlot里切一条纵贯线看电势分布你能清楚地看到耗尽区上电势从P区到N区是怎么抬升的。这个图建议你自己亲手切一次比看好多少张PPT都管用。4.2 MOSFET理解栅控才是核心MOSFET的deck比PN结复杂一些因为你不仅要处理源漏的高浓度掺杂还要处理栅氧化层、栅电极和沟道区域的分区。下面这个示例是一个简化版的二维N沟道增强型MOSFETgo atlas mesh x.mesh location0.0 spacing0.2 x.mesh location0.2 spacing0.05 x.mesh location0.4 spacing0.05 x.mesh location0.8 spacing0.05 x.mesh location1.0 spacing0.2 y.mesh location0.0 spacing0.01 y.mesh location0.02 spacing0.01 y.mesh location0.03 spacing0.02 y.mesh location0.2 spacing0.05 y.mesh location1.0 spacing0.2 region number1 materialOxide y.max0.02 region number2 materialSilicon y.min0.02 y.max1.0 electrode namegate top x.min0.2 x.max0.8 electrode namesource x.min0 y.min0.02 y.max0.05 electrode namedrain x.max1.0 y.min0.02 y.max0.05 electrode namesubstrate bottom doping uniform concentration1e16 n.type region2 doping uniform concentration1e20 n.type region2 x.max0.25 y.min0.02 y.max0.05 doping uniform concentration1e20 n.type region2 x.min0.75 y.min0.02 y.max0.05 contact namegate n.poly models srh auger conmob method newton autonr solve init solve vdrain0.1 log outfmos_idvg.log solve vgate0.1 solve vstep0.1 vfinal2.0 namegate save outfmos_2v.str tonyplot mos_idvg.log这里的关键在于理解栅控逻辑栅极通过氧化层电容控制底下硅表面的电势当栅压超过阈值电压后源极和漏极的高浓度N型区之间会形成导电沟道漏电流才能明显建立起来。你把漏电流对栅压的曲线画出来就能看到这个“从关到开”的转变过程阈值电压大概就在曲线开始明显翘起的位置。contact namegate n.poly把栅电极定义为N型多晶硅栅这是传统MOS工艺里最常见的栅材料。如果你想研究金属栅功函数对阈值电压的影响把这一行改成对应的金属功函数参数就行了。注意这个示例对源漏电极做了位置限定避免让它们接触到氧化层侧面和非器件区域——这就是前面说的electrode细节对仿真物理真实性很有影响。4.3 TonyPlot的数据提取操作跑完MOSFET后TonyPlot里打开mos_idvg.log横轴选Vgate纵轴选Id你会得到一条典型的转移特性曲线。如果曲线噪声很大检查一下之前的扫描步长是否太粗如果曲线根本没有“开”的过程大概率是沟道没形成回去看掺杂和栅氧化层厚度。我个人的一个习惯是跑曲线之前先在TonyPlot里打开mos_2v.str看一下在栅压2V时沟道区域的电子浓度分布有没有一个明显的“隆起”。如果结构图上看不到沟道那说明模型或者掺杂设置有问题这时候再去调参数就有方向了——先确认物理过程再确认电学结果。导出数据也很简单TonyPlot的File菜单里有Export Data选项可以输出CSV或者文本文件。我通常会把关键的IV数据导出再用Python重新画一遍放进论文或报告里这样既保持了图片风格统一也方便做多曲线对比。5. 那些折磨过所有初学者的报错和坑5.1 常见报错清单与快速定位Silvaco的报错信息风格比较“古朴”经常是一大段话里藏着一个关键关键词。我把见过的高频报错整理成了一张表报错信息片段根本原因解决方案unknown parameter参数名拼写错误或当前版本不支持对照官方手册检查拼写注意大小写grid failure/degenerate网格退化、面积为零或为负检查网格坐标是否重叠、间距是否突变initial solution not converge初始解不收敛先检查网格和掺杂再检查电压步长和模型singular matrix矩阵奇异通常伴随网格/接触问题确认电极是否覆盖了有效半导体区域material not found材料名拼写错误或材料库不支持用material手册查默认材料清单contact not foundcontact指令里的名字和electrode对不上核对electrode的name属性新手最容易犯的错是拼写。Silvaco对语法很宽容但参数名不能错concentration少写一个字母就直接报unknown parameter。这时候别急着怀疑软件先看报错指向的具体行号。5.2 一个真实的排查链路初始解为什么不收敛我拿一个真实带学生的场景举例。有个同学搭了一个PN结solve init直接不收敛报错指向网格。他试了好几个模型组合都没用来问我怎么办。我让他做三件事。第一把网格每个间距值列出来检查相邻间距有没有突变——果然他的结构在结区附近从0.01微米直接跳到0.5微米。第二检查掺杂区域有没有和电极区域重叠——他让顶部P型掺杂的y.max和底部N型掺杂的y.min都写成0.5结果两条掺杂在0.5处完全重叠直接出现了两个相反类型的高浓度掺杂叠加。第三检查初始电压设置——他在solve init后面直接接了solve vanode-20一个巨大的反偏电压跳过去求解器当然绷不住。这三个问题依次修掉solve init一次就过了。这个案例我讲给学生听是想说明一个原则不收敛时按“网格→掺杂/结构→电压步长→模型”的顺序去排查而不是一上来就换模型。大部分时候问题根本不在模型。5.3 避免“仿真看似正确其实错误”的三个原则比不收敛更可怕的是收敛了但结果不对。前面那个例子如果同学运气好粗网格带错掺杂也能跑出一个看起来像模像样的IV曲线但那条曲线没有任何物理意义。所以入门阶段就要养成的第三个习惯是常识校验。第一看物理量量级。硅PN结内建电势大概0.7VMOSFET阈值电压通常零点几伏到1伏上下如果你的结果偏离常识太远就算曲线再漂亮也要怀疑设置。第二做网格收敛性测试这我在最后一章会展开。第三和文献或教科书里的结果做对比——不用多精确的对比量级和趋势对得上你的仿真框架才算站住了。6. 入门之后往哪走从跑通到跑准、跑快6.1 网格收敛性测试确定你的仿真可信我把网格收敛性测试单独拿出来讲是因为它是从“会跑仿真”到“仿真结果可信”之间最重要的一步但几乎所有教程都不会讲。做法很简单把你原来的网格整体加密一倍所有spacing减半重新跑一遍仿真对比关键指标——比如PN结的击穿电压、MOSFET的阈值电压和饱和电流。如果加密前后变化很小比如小于1%到2%说明你的仿真结果对网格不敏感可以认为网格已经足够细。如果变化很大说明原来的网格太粗结果不可信需要继续加密。具体操作时不需要手动把每条x.mesh、y.mesh重写一遍那样太累。我通常的做法是直接用mesh space.mult0.5这类全局倍率命令让所有网格同时减半方便快速对比。跑完对比后再把最终使用的网格参数定稿存档到对应的deck里。6.2 物理模型怎么选不是越全越好Atlas提供几十种物理模型新手很容易陷入“全开最安全”的误区。事实上模型开多了不仅慢还可能互相干扰反而不容易收敛。我给出一个入门阶段的模型选型参考模型作用什么时候需要srh肖克利-里德-霍尔复合默认建议开启描述载流子寿命conmob掺杂浓度相关迁移率默认建议开启高掺杂区必须auger俄歇复合高注入、大电流密度下fldmob电场相关迁移率强电场、短沟道下bgn带隙窄化掺杂浓度超过1e18 cm-3时impact selb碰撞电离反向击穿、雪崩击穿仿真optr光学复合发光器件、光电二极管我的经验是先按最小集跑通再根据仿真的物理现象逐步加模型。比如要仿真击穿电压就加上impact selb要研究高掺杂对能带的影响就加bgn。每加一个模型对比一次关键结果变量看它带来多大变化——这样你对每个模型的作用会有直观感受而不是把模型表背下来。6.3 提升效率的几个实用技巧仿真跑得慢多数时候是网格和步长不合理不是电脑不行。这里有几个很实用的优化技巧。第一只对关键区域用细网格。很多人习惯把整个器件网格都加密但大多数物理变化都集中在结区和沟道区衬底深处完全可以用粗网格。改完网格分布后计算量经常能减少一个数量级。第二不要用小步长扫完全程。如果IV特性曲线上没有太多突变可以先用大步长快速跑一遍摸清大致形状再在拐弯处加密步长。或者用solve vstep自动推进步长给适中的值就好。第三先低精度验证再高精度定稿。我跑一个新结构时第一版一定是粗网格、少步长、最小模型集目标只是确认语法和物理过程没问题。确认后再上细网格、全模型、完整扫描。这个方法能让你的试错周期从半小时缩短到两分钟。第四如果许可证支持多线程或并行版本可以开并行。不过这在入门阶段不是必需先学会把单核跑好并行只是锦上添花。6.4 你可以往哪些方向扩展跑通了PN结和MOSFET这两大类基础器件你已经具备了向各个方向扩展的能力。Atlas家族还有不少扩展模块比如Luminous做光电仿真、Gigaphysics做热效应和晶格加热、ATHENA与Atlas的联合可以做“工艺→器件”全链条仿真。我自己后来做的很多工作就是从ATHENA里跑完离子注入和退火再把结构直接送到Atlas里算电学特性这比手工定义掺杂分布真实得多。如果你想往三维方向走Atlas也支持三维结构建模只是网格量和计算量会急剧上升。入门阶段建议先把二维结构吃透因为二维物理和三维物理的核心规律是一致的把二维的网格策略和模型策略掌握好三维只是锦上添花的扩展。另外和外部工具的联动也值得关注。很多工程师会把Atlas的仿真结果导出给Python或MATLAB做后处理或者用脚本批量生成不同参数的deck自动筛选设计空间。这些技能在器件优化和参数校准场景下非常实用等你把基础deck写熟了自然会想往这个方向走。我个人带学生这么多年的体会是跑通demo永远不是终点真正的成长来自每次跑完都问自己一句“这个结果对吗为什么对”然后一路追问下去。你会在这些追问里理解耗尽区、理解阈值电压、理解迁移率模型背后的物理而不是只会复制命令。最后再分享一个小习惯把常用的网格模板、掺杂模板和模型配置存成公共文件每次新开项目时从里面复制改参数比从零开始写deck快得多也能减少很多低级拼写错误。希望对你有帮助。
返回列表