28：Event Report（事件上报）CEID配置与应用
28：Event Report（事件上报）CEID配置与应用
一、本课学习目标
- 掌握Event事件、CEID编号基础定义与GEM规范
- 理解S6F13/S6F14事件上报报文交互逻辑
- 分清产线常用事件分类、触发时机
- 学会EAP配置CEID订阅、缺事件的排查思路
- 明白事件数据对接MES、FDC的业务作用
二、基础概念说明
1. Event Report事件
设备运行中关键动作、状态变更、生产节点发生时，设备主动上报的记录信息。
- 上报报文：S6F13（设备→EAP，W=0，无需应答）
- EAP如需订阅配置：提前约定CEID清单写入EAP配置
2. CEID（Collection Event ID）
- 事件唯一编号，机台原厂固定定义，每一个事件对应独立CEID
- 机台手册Communication手册可查询全部CEID清单、事件说明
- EAP只订阅需要的CEID，未订阅事件设备不会主动上抛S6F13
3. 事件携带内容
CEID编号 + 事件发生时间 + 绑定SV/DV变量数据（附带对应参数）
三、现场四大类常用事件清单
1. 生产Lot相关事件（MES对接核心）
- Lot Start：批次开始加工
- Lot End：批次加工完工
- FOUP Load/Unload：料盒上下机台
作用：MES凭事件做工单开工、完工入库、产能统计
2. 机台状态变更事件
IDLE→RUN、RUN→PAUSE、LOCAL↔REMOTE、ONLINE↔OFFLINE切换
作用：EAP界面状态联动刷新、稼动统计
3. Recipe相关事件
配方下载完成、配方激活、配方切换
作用：记录配方变更履历，R2R参数变更追溯
4. 传输动作事件
机械手取片、晶圆到位、腔体开关腔门、Port开关
作用：FDC绑定单片生产节点，分段采集工艺数据
四、S6F13/S6F14交互规则
- S6F13：设备主动上报事件（W=0，异步上报）
- S6F14：仅Host下发订阅配置时应答，正常事件上报不用回复
- 机台只有EAP订阅过对应CEID，才会触发S6F13上报
五、EAP配置CEID标准流程
- 查阅机台GEM手册，导出本机台全部CEID列表与注释
- 筛选产线需要的事件（Lot启停、状态、Recipe、传输事件）
- 在EAP配置页录入CEID编号、事件名称
- EAP通过对应SECS指令向机台完成订阅
- 重启通信链路，生效配置，等待设备触发事件上送S6F13
六、事件异常排查（收不到事件S6F13）
故障1：完全无任何事件上报
- CEID未在EAP配置、未向机台订阅
- 机台侧GEM事件上报功能被关闭
- EAP与机台SECS通信异常
故障2：个别事件缺失（如Lot End不上报）
- 对应CEID漏配置
- 机台该事件触发逻辑故障
- 机台屏蔽该CEID上报
故障3：事件上报但是MES收不到
EAP内部转发配置异常、接口中断
七、事件在产线上下游数据流向
设备触发事件→S6F13→EAP→一路上传MES做生产管控，一路推送FDC绑定工艺曲线
八、本课核心总结
- 事件上报载体：S6F13，W=0设备主动上送
- CEID是事件唯一编码，配置订阅是收到事件的前提
- 事件分四大类：生产Lot、状态、Recipe、传输动作
- 收不到事件优先查：CEID配置→订阅生效→机台上报开关
- 事件是MES工单闭环、FDC分批次数据的关键数据源
九、课后小作业
- 事件上报对应哪条SECS消息、W位数值？
- CEID全称与作用是什么？
- 列出四类常用事件并举例
- 收不到Lot Start事件排查三步法？
- 简述事件完整数据流转路径